Métrologie optique pour contrôle de stepper et la corrélation
Systèmes IVS automatisés pour mesures d’alignement de couches (Overlay)

ApplicationsQualification de Stepper
Contrôle de Stepper et tests de capabilité 
Contrôle de process et corrélation


 
Afin de contrôler les capacités des équipements de photolithographie, le contrôle quotidien d’alignement est privilégié. C’est pourquoi, la mesure automatisée IVS de marques d’alignement est la solution pour les technologies de 110nm jusqu’aux nœuds de processus au-delà de 10um.
 
Le protocole de corrélation des steppers fait partie du suivi quotidien réalisé par nos clients sur leurs sites de production. L’outil de mesures d’alignement est le seul système de métrologie permettant le contrôle des paramètres du stepper.