Métrologie optique automatisée pour le contrôle de fabrication
Fiabilité et rapport coût-efficacité inégalés

ApplicationsQualification de Stepper
Contrôle de Stepper et tests de capabilité 
Contrôle de process et corrélation


Les principaux avantages du système de métrologie IVS se trouvent dans sa capacité à suivre de grands volumes de production et en même temps des dispositifs à haute valeur ajoutée tout au long du processus décrit ci-dessous.
  • Photolithographie : CD / Overlay : Ce sont les mesures de référence des systèmes IVS. Grâce à un très court temps de cycle (high TPUT) pour les mesures optiques de dimensions critiques (CD) et des mesures d’alignement de couches, les ingénieurs en photolithographie peuvent avoir le meilleur des contrôles de leurs process.
  • Gravure : CD / Overlay : Dans la plupart des usines, la mesure de dispositifs gravés est l’étape la plus essentielle pour certifier la qualité finale du produit. Ces mesures sont souvent effectuées par échantillonnage pour permettre au flux de production de passer le seuil du contrôle qualité.
  • Décollement : CD : Les nouveaux processus de décollement ont donné lieu à différents types d’exigences en matière de mesure. Les sites de production ayant peu d’espaces libres, il est toujours recommandé d’avoir un outil de métrologie avec de multiples capacités. Le système IVS est capable de mesurer CD et VIA pour le processus de décollement mais aussi de contrôler les processus de lithographie et de gravure.
  • Dépôt de couche : Hauteur Z : Durant les processus de dépôts de couches épaisses, tout changement d’épaisseur est critique pour le succès de l’opération et pour les performances du produit final. L’outil IVS a la capacité de mesurer de larges épaisseurs de couches jusqu’à 120 microns. Cette fonctionnalité est particulièrement appréciée depuis des années où elle est utilisée dans les usines MEMs. Aujourd’hui, elle est fréquemment employée dans les centres de production utilisant la technologie des semi-conducteurs composés (compoundsemiconductor). La mesure de hauteur en Z est plus précise et trois fois plus rapide que les systèmes classiques de mesure de marche de type profilomètre mécanique.
Le système IVS est capable de contrôler un nombre important de motifs tests de CD qu’ils soient dans des champs de test ou à l’intérieur de la puce elle-même pour vous permettre un contrôle total de vos produits destinés à l’automobile ou aux télécommunications.