Support en Métrologie pour un Monde Nanométrique

Entreprise d'équipement et de support en métrologie optique


Produits

Dernière mise à jour : 20-03-2018

Système optique IVS de mesure simple de Dimension Critique (CD) et d’Overlay

Easy to use Critical Dimension and Overlay IVS optical system      EUMETRYS est le représentant OEM pour la vente des produits de la gamme IVS d’INSPECTROLOGY en Europe :

INSPECTROLOGY
Nouvel outil IVS 200
IVS 120 / IVS 130 / IVS 135
IVS 155 / IVS 165 / IVS 185
 
 
 

EUMETRYS assure la vente d’Equipements automatiques de Métrologie Optique pour l’industrie du Semiconducteur


EUMETRYS représente la ligne de produit IVS en Europe. Nous vendons maintenant le nouveau modèle IVS200 qui a le meilleur cout de mesure du marché pour les substrats de 200mm et des tailles plus faibles (75mm – 100 mm – 150mm ).

 
Nous représentons la gamme de produits IVS en Europe. Nous vendons les différents modèles IVS120 / IVS130 / IVS135 / IVS155 / IVS165 / IVS185 comme équipements de seconde main totalement remis à neufs, le concept se décrit par le terme REMANUFACTURED.

Pour obtenir la documentation d’équipements spécifiques, merci d’en faire la demande via l’onglet de "
contact".

Cet équipement de Mesure Optique est spécialisé dans la mesure de CD (Dimension critique ou largeur de ligne encore appelé LW pour Line Width) et d’Alignement de couches encore appelé Overlay Registration.


Système IVS pour les mesures de lithographie des semiconducteurs composés Flexibilité du chargement sur les systèmes IVS : de 75mm à 200mm sans modification nécessaire pour le chargement des plaques de diamètre différent.

Nous supportons aussi différents mises à jour (upgrade) du système IVS et fournissons toutes les pièces détachées de la gamme de produits IVS (tous modèles).

La ligne des produits IVS possède une longue histoire :

 
Nom et marque du système IVS original
IVS a été fondé en 1980 pour fournir des équipements de métrologie à l’industrie du semi-conducteur
 
SCHLUMBERGER, précédent propriétaire du système IVS
En 1997, In 1997 la marque IVS fut achetée par Schlumberger puis devint une entité distincte nommée Soluris
 
Soluris, précédent propriétaire du système IVS

En 2006, Soluris fut acheté par Nanometrics
 
NANOMETRICS, Partenaire et précédent propriétaire des équipements de mesure optique de CD et d’alignement de couche IVS

En Septembre 2012, Inspectrology a acheté la ligne de produit IVS à Nanometrics

La marque IVS, équipement de mesure optique de Dimension Critique et d’alignement de couche

Le système de métrologie optique IVS, une plateforme avancée et automatisée acceptant les wafers de 75mm à 200mm (sans aucune modification machine), démontre les capacités suivantes : 
 
Mesure de CD & Overlay dans la même recette
Mesure de dimension critique « CD » inférieure au micron
Capabilité sur les nouveaux substrats SiC grâce à l’option de preAligner transparent
Métrologie des CD et des VIA des MEMs avec des structures
Métrologie des CD et des VIA des LEDs avec des structures
Solides capacités prouvées en mesures d’Overlay jusqu’au procédé minimal de 110 nm pour les semi-conducteurs.

Polyvalence du système de mesure IVS : VIAs, CD, Overlay et MEMs

Pour les substrats transparents, nous supportons un système IVS dédié utilisant un système d’alignement de wafer transparent basé sur une technologie d’imagerie innovante ; Cela permet la mesure de wafers transparents et des substrats de technologies avancées tels que les substrats Verre, Quartz, GaN, GaAs, LiN et SiC.

 

Service d'Urgence
En cas de besoin, nous fournissons un service d'urgence et un remplacement de pièces le plus efficace possible afin de répondre aux besoins du client de la meilleure manière et avec la meilleure réactivité, tout cela pour encore plus de satisfaction.
Contactez-nous au +33 620 171 572



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